硅和多晶硅

满足超纯水质量、废水和排放可持续性目标的硅和多晶硅解决方案

用于半导体制造的高纯度硅和多晶硅的生产一直在发展,以满足设备制造商日益增长的质量需求。硅晶片衬底的纯度对集成设备制造商保持和/或提高产量的能力有影响。随着几何尺寸越来越小,硅晶片中的污染越来越严重。金属(包括硼)、二氧化硅、TOC 和颗粒是最常见的需要减少的污染物。在硅和多晶硅生产和制造过程中有许多应用,Evoqua 提供解决方案来满足您的生产、排放和可持续性目标。请访问下面的应用程序页面以了解更多信息并为您的特定应用程序查找产品和服务。

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